國務院出臺的《振興裝備制造業若干意見》中的第25項明確提出，發展集成電路關鍵設備、新型平板顯示器件生產設備、電子元器件生產設備、無鉛工藝的整機裝聯設備、數字化醫療影像設備、生物工程和醫藥生產專用設備等，促進裝備制造業全面升級。

　　兩年過去了，集成電路關鍵設備、電子專用設備工業進展到什么程度？所產生的社會和經濟效益以及對相關行業的帶動作用如何？

　　記者帶著問題采訪了中國電子專用設備工業協會秘書長金存忠。金存忠認為，集成電路、電子元器件等電子專用設備工業是當今全球裝備制造業中最尖端的技術之一，是信息技術硬件的核心，是我國自主創新尋求突破的關鍵，政府一直予以高度重視。電子專用設備工業的發展水平，決定著一個國家或地區電子信息產品制造業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力的重要標志。

　　自主創新技術能力迅速提升

　　金存忠指出，在國家大力扶持下，我國集成電路關鍵設備關鍵技術、電子專用設備和儀器的自主創新能力迅速提升。

　　據悉，集成電路生產線中的兩項關鍵設備———100nm高密度等離子體刻蝕機和大角度離子注入機已經進入大生產線正常運行，主要技術指標達到國外同類機型的先進水平。2008年，65nm高密度等離子體刻蝕機也進入了12英寸超大規模集成電路生產線。基于兩種設備良好的本土化加工制造基礎，可以和國外同類新設備進行競爭。

　　100nm投影光刻機在關鍵子系統研發及整機集成測試等方面已取得重大進展并獲專利50多項，2010年前可望進入生產線。“8英寸立式擴散爐”2008年完成樣機，2009年進入生產線考核。8英寸集成電路后工序生產線的主要設備自動劃片機、自動粘片機、引線鍵合機已出樣機，2009年進入生產線考核，2010年可望進入生產線。

　　隨著技術創新能力的提升，涌現出一批自主開發的IC產品。在金卡工程的帶動下，經過政府、企業等各方共同努力，以二代身份證、手機SIM卡等為代表的IC卡芯片實現了突破。“龍芯”、移動應用處理器、基帶芯片、數字多媒體、音視頻處理、高清數字電視、圖像處理、功率管理以及存儲卡控制等許多IC產品開發成功，相當一批IC已投入量產，不僅滿足國內市場需求，有的還進入國際市場競爭。

　　金存忠進一步強調，進入“十一五”后，行業內的主要企業十分重視自主創新能力的建設：在關鍵設備的開發中避開已有的專利，建立自主知識產權；積極吸收國內外的高科技人才，行業內一批骨干企業已經建立起一支具有自主創新能力的研發團隊；在國家政策的支持下，在關鍵設備的開發中，迅速提高了企業的自主創新能力。

　　與國外先進水平差距猶大

　　金存忠認為，雖然我國集成電路關鍵設備、新型平板顯示器件生產設備、電子元器件生產設備等電子專用設備技術創新能力不斷提高，但是由于電子專用設備和儀器產業是裝備制造業的重要分支，是電子信息產品生產技術和工藝技術的高度融合，處于電子信息產業鏈最高端，基礎性強、關聯度高，是技術難度最大，復雜度、附加值和進入門檻最高的領域，由于起步晚，與國外先進水平還有不小的差距。

　　這些差距和問題重要表現在：自主創新能力與產業高科技要求差距較大，導致市場需求大、高水平的設備開發緩慢，而低水平的設備重復生產，低價競爭；設備的開發與產品的制造工藝脫離，影響了新產品產業化進程；高檔電子產品的生產線設備成套較差，缺乏市場競爭力；由于我國光伏產業主要依賴國外市場，在全球金融風暴的沖擊下，設備的需求急劇下降，使我國成長最快的太陽能電池設備行業受到較大沖擊。

　　金存忠分析認為，產業政策尚未完全落實到位，投融資環境還有待進一步改善；缺乏核心技術和自主品牌等是造成差距的主要原因。

　　創新仍為產業發展主旋律

　　“創新是產業發展的靈魂，在相當長的一段時期內，堅持引進、消化、吸收、再創新，加強集成創新，逐步推進原始創新，把掌握關鍵技術和核心技術放在重要地位，仍是我們的主要任務。”針對產業出現的問題，金存忠提出五點建議。

　　繼續鼓勵企業引進高科技人才，加快提高企業自主創新的能力。

　　支持在設備制造廠內建立相應的產品生產試驗線，加快設備產業化的進程。

　　支持市場熱銷的電子產品生產線中的關鍵設備開發。如LED前工序（芯片）制造設備，SMT生產線中的自動貼片機、印刷機，LCD前工序生產線和非晶硅薄膜太陽能電池生產線中的PECVD設備等。

　　國家對電子專用設備制造企業需要進口的設備配套零部件的進口關稅和進口環節增值稅實行先征后退的優惠政策，鼓勵企業使用高質量的零部件，提高國產設備市場競爭力。

　　在當前經濟形勢下，擴大內需是拉動電子專用設備產業最有效的措施。如加快我國太陽能發電站的建設投資，改變我國光伏產業主要依賴國外市場的被動局面。